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沉积速率能量分析仪(Quantum)

沉积速率能量分析仪(Quantum)

产品名称:沉积速率能量分析仪

品牌:Impedans

产地:爱尔兰

型号:Quantum

主要功能:测量真空镀膜的离子能量和沉积速率

这是一款专门用于沉积镀膜过程中测量离子效率的工具,Quantum沉积速率能量分析仪除了具备Semion的所有功能,即基础的离子能量和离子流量测量功能外,还配备了石英微天平,可用于测量离子/中性粒子比例和沉积速率。

      

系统配置

测量参数: 

离子能量范围                                                                  0 - 2000eV max

离子流量                                                                         0.001 - 700mA/cm² 

时间分辨频率范围                                                          4Hz to 100 kHz

离子能量分布函数(IEDF)分辨率                                +/- 1eV nominal 

石英微天平频率范围                                                       3.5-6.1MHz

沉积速率分辨率                                                              12.3ng/cm² 

膜厚分辨率                                                                     0.4nm

数据传输                                                                        1次/秒


RFEA 探测器:

探测器直径                                                     33mm
底座直径                                                        标准:70mm,100mm(4"),300mm(12") ,或按要求定制其它尺寸

底座厚度                                                        5mm

安装                                                               探测器与底座一体化安装

探测器壳体材料l                                            阳极氧化铝,不锈钢,或按要求定制其它材料

探测器底座材料                                             阳极氧化铝,不锈钢,或按要求定制其它材料

底座至腔壁连线长度                                     标准:650mm,可定制其它长度


腔室整体连接装置:

法兰型号                                                       标准: CF40; 或定制其他型号


电子控制单元

电压范围                                                      -600V to +600V (抑制电压), -2000V to +2000V (栅极扫描电压)

电流范围                                                      100pA to 60mA

通讯方式                                                       USB 2.0


软件

操作系统                                                      Windows 7以上


* 由直流偏压决定

具体配置请参考产品手册。