这是一款专门用于沉积镀膜过程中测量离子效率的工具,Quantum沉积速率能量分析仪除了具备Semion的所有功能,即基础的离子能量和离子流量测量功能外,还配备了石英微天平,可用于测量离子/中性粒子比例和沉积速率。
系统配置
测量参数:
离子能量范围 0 - 2000eV max
离子流量 0.001 - 700mA/cm²
时间分辨频率范围 4Hz to 100 kHz
离子能量分布函数(IEDF)分辨率 +/- 1eV nominal
石英微天平频率范围 3.5-6.1MHz
沉积速率分辨率 12.3ng/cm²
膜厚分辨率 0.4nm
数据传输 1次/秒
RFEA 探测器:
探测器直径 33mm
底座直径 标准:70mm,100mm(4"),300mm(12") ,或按要求定制其它尺寸
底座厚度 5mm
安装 探测器与底座一体化安装
探测器壳体材料l 阳极氧化铝,不锈钢,或按要求定制其它材料
探测器底座材料 阳极氧化铝,不锈钢,或按要求定制其它材料
底座至腔壁连线长度 标准:650mm,可定制其它长度
腔室整体连接装置:
法兰型号 标准: CF40; 或定制其他型号
电子控制单元
电压范围 -600V to +600V (抑制电压), -2000V to +2000V (栅极扫描电压)
电流范围 100pA to 60mA
通讯方式 USB 2.0
软件
操作系统 Windows 7以上
* 由直流偏压决定
具体配置请参考产品手册。
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