合成波射频VI探测器Octiv Suite是该系列中功能比较全的一款产品,除了涵盖Poly能测的所有参数(电压、电流、功率、相位、阻抗、谐波等),还能对电压电流的波形进行重建,实时绘制出电压电流的真实波形;如将该探测器直接接于腔室电极端,则可直接测量电极附近的离子流量即Ion Flux。
测量参数:
电压电流波形重建
离子流量(ion flux)测量
配置:
范围* |
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精确度* |
|
功率 |
0-12.5kW |
电压 |
± 1% |
频率 |
40K-240M,选5个 |
电流 相位 |
± 1% ± 1° |
电压 |
0 - 3000 Vrms |
功率 |
± 1% |
电流 |
0 - 50 Arms |
采样率 |
1-10Hz |
相位 |
-90° -> + 90° |
传感器阻抗 |
50 Ohms |
分辨率 |
|
插入损耗 |
0.05dB |
电压 电流 相位 |
± 0.25V ± 5.0mA ± 0.01° |
谐波成分 |
最多128条 |
*据不同接头 |
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