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合成波射频VI探测器(Octiv Suite)

合成波射频VI探测器(Octiv Suite)

产品名称:合成波射频VI探测器

品牌:Impedans

产地:爱尔兰

型号:Octiv Suite

主要功能:测试射频匹配后的电源参数

合成波射频VI探测器Octiv Suite是该系列中功能比较全的一款产品,除了涵盖Poly能测的所有参数(电压、电流、功率、相位、阻抗、谐波等),还能对电压电流的波形进行重建,实时绘制出电压电流的真实波形;如将该探测器直接接于腔室电极端,则可直接测量电极附近的离子流量即Ion Flux。

测量参数:

  • 频率(40K-240M,任选五个频点)
  • 电压, 电流, 相位
  • 真实、入射、反射功率
  • 阻抗
  • 谐波

    电压电流波形重建

  • 离子流量(ion flux)测量

  • 配置:

    范围*

     

    精确度*

     

    功率

    0-12.5kW

    电压

    ± 1%

    频率

    40K-240M,选5个 

    电流

    相位

    ± 1%

    ± 1°

    电压

    0 - 3000 Vrms

    功率

    ± 1%

    电流

    0 - 50 Arms

    采样率

    1-10Hz

    相位

    -90° -> + 90°

    传感器阻抗

    50 Ohms

    分辨率

     

    插入损耗

    0.05dB

    电压

    电流

    相位

    ± 0.25V

    ± 5.0mA

    ± 0.01°

    谐波成分

    最多128条 

    *据不同接头

      


     

        
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