* 真空系统本底状态鉴定
在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值
* 真空系统污染监测和控制
清洗介质残留,返油(碳氢化合物),表面放气(空气, H2O, O2, CO, CO2)
通过软件中的标准气体库,可确定气体成分.
* 真空工艺监控
- 在线监控:实时反映工艺异常或偏差
- 数据按时间自动存储(SOD文件)以便
日后追溯进行工艺分析
- 继电器输出可用于控制阀门
- 模拟输出可连线PLC
* 镀膜工艺研究开发
各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响
* 等离子体研究
等离子体放电过程中气体成分变化
RGA的选用
电子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~10-15 Torr
* 质量数(AMU)
取决于需要探测的气体
100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU
200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU
300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU
绝大多数工业应用仅需100AMU传感器
* 工作压强范围
- 标准RGA: < 5 x 10-4 Torr
- 高压强型: < 1 x 10-2 Torr,需另配真空系统
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