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Impedans重磅发布无线晶圆离子能量分析仪Ionix!

近日,Impedans公司发布一款无线晶圆式离子能量分析仪,可方便的使操作人员使用传片系统将类晶圆的探头装进真空腔室中,无需开腔安装,自动扫描测量工艺过程中的离子能量分布,该产品现已接受全球半导体设备厂及晶圆厂预定,并在TEL、TSMC、ASML等公司得到积极验证,达到满意效果!


Ionix System

无线晶圆离子能量分析仪

世界首款创新的无线晶圆式离子能量分布测量系统

Ionix系统是世界上首款将离子能量分析探头(RFEA*)做成类晶圆式的装置(专利号:European Application No.: 20195445.0),用于分析等离子体轰击到晶圆表面的离子能量分布。 该技术使得离子能量的测量更加容易,无需外接连线和对腔室进行改造,即可通过正常的装载-进样装置将探头传送至腔室中进行测量。内置的电池及存储装置使晶圆在工作过程中将数据实时存储于主板上,待测量完成后将晶圆取出即可在主机读取装置上进行数据的导出和诊断分析。

该创新型的技术不仅针对基础研究和工艺过程研发,也是用于产线上的离子能量监控的有效手段。

(RFEA*-Retarding Field Energy Analyser 减速场离子能量分析)



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