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北方华创订购18套射频Event Sensor!

经过一年多的测试与验证,我公司的射频Event Sensor-Alfven系列得到了北方华创的认可,成功应用于PVD基台的生产线上,以供给终端客户在线监控工艺过程中等离子体的Arcing及不稳定现象,1us的采样率可抓到射频等离子体产生后极微小的不稳定现象。



 

 

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