华为海思-武汉研究所射频VI Probe调试验收!-北京艾兰科技有限公司
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华为海思-武汉研究所射频VI Probe调试验收!

近日,华为海思采购的射频VI Probe - Octiv Poly 2.0由我司工程师与海思设备工程师共同完成安装调试验收工作。该设备用于海思OxfordPlasmalab800PlusPECVD设备下电极LF 50KHz的电源监控,可精确测量电源经过匹配端后的电压、电流、功率、相位、阻抗、谐波等参数,对工艺过程起到极好的监控作用。



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